Revestimiento de pulverización catódica de magnetrón

Otra forma de tecnología de recubrimiento PVD.

Recubrimiento de plasma

La pulverización magnetrónica es un proceso de recubrimiento con plasma por el que se expulsa el material debido a un bombardeo de iones a la superficie del objetivo. La cámara de vacío de la máquina de recubrimiento de PVD se llena con un gas inerte, como el argón. Al aplicar un alto voltaje, se crea una descarga luminiscente, lo que resulta en la aceleración de los iones a la superficie objetivo y un recubrimiento de plasma. Los iones de argón expulsarán materiales de pulverización catódica de la superficie del objetivo (pulverización catódica), lo que dará como resultado una capa de recubrimiento pulverizado en los productos frente al objetivo.

Pulverización catódica reactivo

A menudo se usa un gas adicional, como nitrógeno o acetileno, que reaccionará con el material expulsado (pulverización reactiva). Con esta técnica de recubrimiento PVD se puede lograr una amplia gama de recubrimientos por pulverización catódica. La tecnología de pulverización magnetrónica es muy ventajosa para los recubrimientos decorativos (por ejemplo, Ti, Cr, Zr y nitruros de carbono), debido a su naturaleza suave. La misma ventaja hace que la pulverización magnetrónica sea ampliamente utilizada para el recubrimiento tribológico en los mercados automotrices (por ejemplo, CrN, Cr2N y varias combinaciones con recubrimiento DLC - recubrimiento de carbono tipo diamante).

Campos magnéticos

La pulverización magnetrónica es algo diferente de la tecnología general de pulverización catódica. La diferencia es que la tecnología de pulverización magnetrónica utiliza campos magnéticos para mantener el plasma frente al objetivo, intensificando el bombardeo de iones. Un plasma altamente denso es el resultado de esta tecnología de recubrimiento PVD.

El característica de la tecnología de pulverización catódica de magnetrón:

• Un objetivo refrigerado por agua, por lo que se genera poco calor de radiación.
• Casi cualquier material blanco metálico puede pulverizarse sin descomposición
• Los materiales no conductores pueden pulverizarse usando radio frecuencia (RF) o potencia de frecuencia media (MF)

• Los recubrimientos de óxido pueden pulverizarse (pulverización reactiva)
• Excelente uniformidad de capas
• Recubrimientos pulverizados muy suaves (sin gotitas)
• Los cátodos (de hasta 2 metros de largo) se pueden colocar en cualquier posición, por lo tanto, una gran flexibilidad en el diseño del equipo de pulverización catódica.

La desventaja de la tecnología de pulverización catódica de magnetrón:
• Velocidad de deposición lenta en comparación con la tecnología de arco.
• Densidad de plasma más baja (~ 5%) en comparación con la tecnología de arco; adherencia de recubrimientos es.
• La baja y la densidad de las capas pulverizadas pueden ser menores.