¿Cómo influye la presión de funcionamiento dentro de la máquina de recubrimiento de pulverización de magnetrón la calidad y la uniformidad del recubrimiento aplicado a los sustratos?
La presión de funcionamiento juega un papel directo en el control de la tasa de deposición del material pulverizado en el sustrato. A bajas presiones, la ruta libre media, la distancia, un átomo pu...