Características:
• Rendimiento superior
• Amplio rango de potencia y frecuencia
• Sistema de gestión de arco rápido
• Tecnología avanzada de gestión del arco, baja energía residual del arco
• Estructura de diseño flexible y modular
• Alta corriente de salida
• Tecnología energética líder
Beneficio para el cliente:
• Ajustable a diversos procesos y aplicaciones
• Deposición de películas delgadas y uniformidad de la película.
• Alta velocidad de deposición en condiciones tecnológicas.
• Integración conveniente del sistema
• Amplia gama de regulación de potencia.
• Alta confiabilidad