¿Cuál es el principio de funcionamiento del revestimiento de iones de arco catódico?

En primer lugar, la aguja que enciende el arco (ánodo) con potencial positivo está cerca del objetivo (cátodo) con potencial negativo. Cuando la distancia entre el ánodo y el cátodo es lo suficientemente pequeña, el gas entre los dos electrodos se descompondrá, formando una corriente de arco, que es similar al arco de la soldadura eléctrica. En este momento, parte del N2 se ioniza para formar cationes de nitrógeno y electrones.

Atraído por la fuerza del campo eléctrico, el catión nitrógeno volará hacia el cátodo cerca del objetivo y el electrón volará hacia la aguja de ignición del arco. Sin embargo, la masa del ion es mucho mayor que la del electrón. Por tanto, bajo la misma fuerza de campo eléctrico, la distancia de movimiento del electrón será mayor que la del catión. Por lo tanto, cuando el electrón alcanza el ánodo, el ion no alcanzará el objetivo del cátodo, sino que volará hacia la aguja de ignición del arco. La capa de acumulación de iones positivos se forma cerca de la superficie del objetivo.

La distancia entre el catión y la superficie objetivo del cátodo es muy pequeña, hasta el nivel de micras. Según e = u / D, se puede ver que el campo eléctrico en el espacio es alto en este momento, lo que "sacará" los electrones del objetivo. Los electrones "extraídos" vuelan desde el objetivo del cátodo hasta la capa de acumulación de iones positivos, formando una corriente. La capa de apilamiento está conectada con la superficie objetivo y se genera un arco cerca de la superficie objetivo.

Al mismo tiempo, los iones positivos serán atraídos por la superficie del objetivo del cátodo, lo que hace que los iones positivos bombardeen la superficie del objetivo y produzcan chisporroteo. Como las partículas de la película, ya sea evaporadas o pulverizadas, deben pasar a través de la capa de acumulación de iones positivos, y en el proceso de salir volando de la superficie objetivo del cátodo, las partículas de la película se verán afectadas por el arco en la superficie objetivo, por lo que las partículas que lleguen en la pieza de trabajo están en estado iónico.

El voltaje de polarización negativa generalmente se aplica a la pieza de trabajo, por lo que los iones positivos vuelan a la pieza de trabajo bajo la acción de la fuerza del campo eléctrico y bombardean la pieza de trabajo. Fabricantes de máquinas de recubrimiento DLC . Este bombardeo mejorará la adherencia de la película y hará que la fricción sea densa, lo que es muy beneficioso para mejorar la calidad de la película.

Si quieres saber más, también puedes contactar con nosotros.

NINGBO DANKO TECNOLOGÍA DE VACÍO CO., LTD.

sara

Teléfono: 86-15867869979

Correo electrónico: [email protected]

Wechat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979