¿Cuáles son los pasos para utilizar la máquina de recubrimiento al vacío?

Máquina de recubrimiento al vacío Se refiere principalmente a un tipo de recubrimiento que debe realizarse bajo un vacío más alto, incluidos muchos tipos, incluida la evaporación por calentamiento por resistencia al vacío, la evaporación por calentamiento con pistola de electrones, la pulverización catódica con magnetrón, la epitaxia de haz molecular MBE, la deposición por pulverización catódica con láser PLD y la deposición de iones. tipos de pulverización catódica. La idea principal se divide en dos tipos de evaporación y pulverización catódica.

Funcionamiento del armario de control eléctrico.
1. Encienda la bomba de agua y la fuente de aire.
2. Encienda la fuente de alimentación principal.
3. Encienda la fuente de alimentación de la bomba de mantenimiento y el vacuómetro, la posición del vacuómetro V1, espere a que el valor sea inferior a 10 y luego ingrese al siguiente paso. Tarda unos 5 minutos.
4. Encienda la bomba mecánica, prebombee, encienda la bomba turbo molecular y enciéndala. El interruptor del vacuómetro se cambia a la posición V2. Se necesitan unos 20 minutos para bombear hasta menos de 2.
5. Después de observar que la lectura de la bomba turbomolecular llega a 250, apague la prebomba, encienda la bomba de respaldo y la válvula de alto vacío para continuar aspirando. Después de que el vacío alcance un cierto nivel, encienda el medidor de vacío alto a la derecha para observar el vacío. Sólo después de que el vacío alcance 2 × 10-3 se puede encender la fuente de alimentación del cañón de electrones.

Operación DEF-6B
1. Suministro eléctrico total.
2. Encienda la fuente de alimentación del control del cañón de electrones Ⅰ y del control del cañón de electrones Ⅱ al mismo tiempo: presione la fuente de alimentación del control del cañón de electrones Ⅰ, el interruptor de retardo, el retardo, la fuente de alimentación y las luces de protección están encendidas. Después de tres minutos, las luces de retardo y protección se apagan. Si la puerta trasera no está cerrada o el relé de flujo de agua tiene una falla, la luz de protección siempre estará encendida.
3. Cuando se enciende el alto voltaje, el alto voltaje alcanzará más de 10 KV, la corriente del haz se puede ajustar a aproximadamente 200 mA, la rejilla de la cortina es de 20 V/100 mA, la corriente del filamento es de 1,2 A y la corriente de desviación oscila entre 1 y 1.7.

Secuencia de apagado
1. Apague el medidor de alto vacío y la bomba molecular.
2. Cuando la pantalla de la bomba molecular llegue a 50, apague la válvula alta, la etapa frontal y la bomba mecánica por turno. Este período dura unos 40 minutos.
3. Cuando esté por debajo de 50, apague la bomba de mantenimiento nuevamente.