¿Cuáles son los componentes principales de un sistema de recubrimiento al vacío?

1. Cámara de vacío

equipo de recubrimiento Tiene principalmente dos formas: línea de producción de recubrimiento continuo y máquina de recubrimiento de una sola cámara, fabricación de materiales de acero inoxidable, soldadura por arco de argón, tratamiento de pulido químico de superficies y varias especificaciones de interfaces de bridas soldadas en los componentes de la cámara de vacío.

2, parte de adquisición de vacío

En la tecnología de vacío, la parte de adquisición de vacío es una parte importante. La adquisición de vacío no se puede lograr mediante un único equipo y método de vacío. Se deben utilizar varias bombas en combinación, como bombas mecánicas, bombas Roots, sistemas de bombas moleculares, etc.

3, parte de medición de vacío

La parte de medición de vacío del sistema de vacío sirve para medir la presión en la cámara de vacío. Al igual que una bomba de vacío, ningún vacuómetro puede medir todo el rango de vacío, por lo que se han fabricado muchos tipos de vacuómetros de acuerdo con diferentes principios y requisitos. Como medidor de termopar, medidor de ionización, medidor Pirani, etc.

4. Parte de la fuente de alimentación

La fuente de alimentación objetivo incluye principalmente fuente de alimentación de CC, fuente de alimentación de frecuencia intermedia, fuente de alimentación de pulso y fuente de alimentación de radiofrecuencia (RF). Los fabricantes de fuentes de alimentación habituales incluyen AE, ADL, Hottinger, etc.

5. Sistema de entrada de gas de proceso

Los gases de proceso, como argón (Ar), criptón (Kr), nitrógeno (N2), acetileno (C2H2), metano (CH4), hidrógeno (H2), oxígeno (O2), etc., se suministran generalmente mediante bombonas de gas. Válvula reductora de presión de gas, válvula de cierre de gas, tubería, medidor de flujo de gas, válvula solenoide, válvula piezoeléctrica y luego a la cámara de vacío. La ventaja de este sistema de entrada de gas es que la tubería es simple y clara, y es fácil reparar o reemplazar el cilindro de gas. Las máquinas de recubrimiento no se afectan entre sí. También hay casos en los que varias máquinas de recubrimiento comparten un conjunto de cilindros de gas. Esta situación se puede observar en algunos talleres de recubrimiento a gran escala. Su ventaja es que reduce la ocupación de cilindros de gas, planificación unificada y diseño unificado. La desventaja es que debido al aumento en el número de juntas, aumenta la posibilidad de fugas de aire. Además, las máquinas de recubrimiento interferirán entre sí y la tubería de una máquina de recubrimiento puede perder aire, lo que puede afectar la calidad del producto de otras máquinas de recubrimiento. Además, al reemplazar los cilindros de gas, es necesario asegurarse de que todas las máquinas estén sin gas.

6. Parte de transmisión mecánica

El recubrimiento requiere que el espesor de la periferia sea uniforme. Por lo tanto, deben realizarse tres rotaciones en el proceso de recubrimiento para cumplir los requisitos. Es decir, mientras que se requiere que la mesa de la pieza de trabajo grande gire (I), el portapiezas pequeño también gira (II), y la propia pieza de trabajo puede girar al mismo tiempo (III). En el diseño mecánico, generalmente hay un engranaje impulsor grande en el centro de la parte inferior del plato giratorio de piezas de trabajo grande, y algunas ruedas de estrella pequeñas engranan con él. Si se va a girar el producto, la pieza de trabajo generalmente se gira mediante una horquilla de cambio.

7, parte de medición de temperatura y calefacción

Los equipos de recubrimiento generalmente tienen calentadores en diferentes posiciones y se utilizan termopares para medir y controlar la temperatura. Sin embargo, debido a que la posición de sujeción del termopar es diferente de la posición de la pieza de trabajo, la lectura de temperatura no puede ser la temperatura real de la pieza de trabajo. Para medir la temperatura real de la pieza de trabajo, existen muchos métodos; puede instalar papel de prueba de alta temperatura o un medidor de termopar en la pieza de trabajo.

8. Evaporación de iones y fuente de pulverización

La fuente de evaporación del revestimiento de arcos múltiples 　　 generalmente tiene la forma de una torta redonda, comúnmente conocida como objetivo de torta redonda, y también hay objetivos de arcos múltiples rectangulares. Se instala un imán en la base del objetivo. Al mover el imán hacia adelante y hacia atrás, se cambia la intensidad del campo magnético y se puede ajustar la velocidad de movimiento y la trayectoria del punto del arco. Para reducir la temperatura del objetivo y de la base del objetivo, la base del objetivo debe recibir un suministro continuo de agua de refrigeración. Para garantizar una alta conductividad eléctrica y térmica entre el objetivo y la base del objetivo, también se puede agregar una junta de estaño entre el objetivo y la base del objetivo. El recubrimiento de pulverización catódica con magnetrón generalmente utiliza cátodos de pulverización catódica rectangulares o cilíndricos.

9, sistema de refrigeración por agua

Generalmente consta de una torre de agua fría, una máquina de agua helada, una bomba de agua, etc.

10, sistema de control industrial