Métodos comunes de detección de fugas de vacío

Detección de fugas mediante espectrometría de masas de helio.

Esta tecnología es una tecnología indispensable en el campo de la detección de fugas de vacío. Es ampliamente utilizado en la detección de fugas debido a su alta eficiencia de detección de fugas, fácil operación, respuesta sensible del instrumento, alta precisión y no Proveedores de China Sistemas de recubrimiento PVD fácilmente interferido por otros gases. El detector de fugas con espectrómetro de masas de helio es un tipo de instrumento de detección de estanqueidad al gas basado en el principio de espectrometría de masas, que utiliza helio como gas indicador de fugas. Está compuesto por una fuente de iones, un analizador, un colector, un medidor de ionización de cátodo frío, una cámara de espectrometría de masas, un sistema de escape y una parte eléctrica. Los electrones emitidos por el filamento en la cámara de espectrometría de masas oscilan hacia adelante y hacia atrás en la habitación y chocan con el gas interior y el helio que ingresan a la habitación a través del orificio con fugas para ionizarse en iones positivos. Estos iones de helio ingresan al campo magnético debajo de los cerebros izquierdo y derecho del campo eléctrico acelerado y se desvían debido a la acción de la fuerza de Lorentz, formando una órbita de arco circular y cambiando el campo eléctrico acelerado. La presión permite detectar iones de diferentes masas al llegar al polo receptor a través de campos magnéticos y ranuras receptoras. El método de inyección de helio y el método de absorción de helio son los dos métodos comúnmente utilizados en la detección de fugas del espectrómetro de masas de helio.