¿Cuáles son las condiciones normales de trabajo y los métodos de mantenimiento de los equipos de recubrimiento al vacío?-Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

¿Cuáles son las condiciones normales de trabajo y los métodos de mantenimiento de los equipos de recubrimiento al vacío?

condiciones normales de trabajo de equipo de recubrimiento al vacío

1. Temperatura ambiente: 10~30℃

2. Humedad relativa: no más del 70%

3. Temperatura de entrada del agua de refrigeración: no superior a 25 ℃

4. Calidad del agua de refrigeración: agua del grifo urbano o agua de calidad equivalente

5. Voltaje de la fuente de alimentación: 380 V, trifásico 50 Hz o 220 V, monofásico 50 Hz (dependiendo de las necesidades de los aparatos eléctricos utilizados), el rango de fluctuación de voltaje es 342 ~ 399 V o 198 V ~ 231 V, y el rango de fluctuación de frecuencia es 49~51Hz;

6. La presión, temperatura y consumo de aire comprimido, nitrógeno líquido, agua fría y caliente, etc. que requiera el equipo deberá constar en el manual de instrucciones del producto.

7. El entorno circundante del equipo está limpio y el aire está limpio, y no debe haber polvo o gas que pueda causar corrosión en la superficie de los aparatos eléctricos y otras partes metálicas o causar conducción entre metales.

Además, el laboratorio o taller donde se encuentre el equipo de recubrimiento al vacío debe mantenerse limpio e higiénico. El suelo es de terrazo o tarima pintada de madera, sin polvo. Para evitar que el gas descargado por la bomba mecánica contamine el ambiente del laboratorio, se puede utilizar el método de instalar un tubo de escape (tubo de metal o caucho) sobre el puerto de escape de la bomba para descargar el gas al aire libre.

Métodos de mantenimiento y mantenimiento de equipos de recubrimiento al vacío.

Después de que el equipo de recubrimiento al vacío complete más de 200 procedimientos de recubrimiento, el estudio debe limpiarse una vez.

Método: frote repetidamente la pared interior de la cámara de vacío con una solución saturada de soda cáustica (NaOH) (tenga en cuenta que la piel humana no puede entrar en contacto directo con la solución de soda cáustica para evitar quemaduras) El propósito es hacer que la película chapada de aluminio (AL) reaccione con NaOH y la capa de película después de la reacción se caen y liberan gas hidrógeno. Luego limpie la cámara de vacío con agua limpia y limpie la suciedad dentro de la válvula de extracción fina con un paño humedecido en gasolina.

Cuando la bomba de desbaste (bomba de válvula deslizante, bomba de paletas rotativas) funciona continuamente durante un mes (la mitad de la temporada de lluvias), es necesario reemplazarla con aceite nuevo.

Método: Desenrosque el perno de aceite, drene el aceite viejo y luego encienda la bomba durante unos segundos para descargar completamente el aceite viejo de la bomba. Desenrosque el perno de retorno de aceite y agregue aceite nuevo hasta la cantidad nominal (observada por la mirilla de aceite). Durante más de medio año de uso continuo, se debe abrir la tapa del aceite al cambiar el aceite y se debe limpiar la suciedad de la caja con un paño.

Antes de reiniciar, preste atención a la detección de fugas.

Si la bomba de difusión se ha utilizado continuamente durante más de 6 meses, la velocidad de bombeo obviamente se ha ralentizado o el funcionamiento no es correcto. Llene el aire a la atmósfera, retire la tubería de agua de conexión, retire la estufa eléctrica, desenrosque la boquilla del primer nivel y primero limpie la cavidad de la bomba y la vejiga de la bomba con gasolina. Una vez más, lávelo con detergente en polvo mezclado con agua y luego lávelo bien con agua limpia. Después de que el agua se haya evaporado y secado, instale la vejiga de la bomba, agregue aceite nuevo para la bomba de difusión y vuelva a colocarlo en el cuerpo, conecte la tubería de agua e instale la placa eléctrica. para reiniciar. Antes de reiniciar, preste atención a la detección de fugas.

Método: Arranque la bomba de mantenimiento, cierre la puerta y después de unos minutos, observe si el grado de vacío de la bomba de difusión alcanza 6X10 Pa; de lo contrario, realice la detección de fugas. Compruebe si el anillo de sellado está instalado en la junta o si está aplastado. El calentamiento solo se puede realizar después de eliminar el peligro oculto de fuga de aire; de lo contrario, el aceite de la bomba de difusión quemará el anillo y el equipo de recubrimiento al vacío no podrá entrar en estado de funcionamiento.