Principio estructural de la máquina de recubrimiento al vacío.

La máquina de membrana es actualmente el equipo más utilizado para crear condiciones de vacío. Sus componentes y componentes relacionados: bomba mecánica, bomba de refuerzo, bomba de difusión de aceite, bomba de condensado, sistema de medición de vacío.
Cuerpo de vacío: las cámaras de vacío tienen diferentes requisitos según los productos procesados, y el tamaño de la cámara de vacío también es diferente. En la actualidad, los más utilizados son 1,3 M, 0,9 M, 1,5 M, 1,8 M, etc. La cámara está hecha de acero inoxidable y los requisitos son oxidados, sólidos, etc., hay válvulas de conexión en cada parte de la cámara de vacío. , que se utilizan para conectar cada bomba de succión.

Dividido principalmente en 4 partes, unidad de vacío, caja de vacío, sistema de evaporación, sistema de control.
La unidad se puede dividir en: bajo vacío, alto vacío, unidad de bomba de raíces, unidad de bomba de difusión, unidad de bomba molecular, unidad de criobomba, etc.
La evaporación se divide en: evaporación por haz de electrones, evaporación por calentamiento por resistencia, evaporación por pulverización catódica con magnetrón, evaporación por arco múltiple