¿Cómo mantener e instalar el cañón de electrones de la máquina de recubrimiento óptico?

El máquina de recubrimiento óptico se compone principalmente de una sala de máquinas de recubrimiento al vacío, un extractor de vacío y un gabinete eléctrico (gabinete eléctrico de control, gabinete eléctrico de pistola de electrones), y se utiliza en microelectrónica, formación de películas ópticas, decoración civil, ingeniería de superficies y otros campos. El principio de funcionamiento del equipo de recubrimiento óptico es utilizar haces de electrones para calentar materiales metálicos o no metálicos a una temperatura adecuada en alto vacío y luego evaporarlos en moléculas de vapor. El camino libre medio es mayor que la distancia desde la fuente de evaporación hasta el sustrato a evaporar. Las moléculas de vapor evaporadas son guiadas en todas direcciones y depositadas sobre la superficie del sustrato formyo una fina película. Permítanme hablar sobre los métodos de instalación y mantenimiento del cañón de electrones:
El sistema de control de la fuente de alimentación del cañón de electrones se compone de una fuente de alimentación de filamento, una fuente de alimentación de alto voltaje, una fuente de alimentación de escaneo, una fuente de alimentación de accionamiento del crisol, una fuente de alimentación de evaporación, etc.
El cañón de electrones controla el alto voltaje en el armario eléctrico. Se requiere el funcionamiento normal de cada dispositivo de enclavamiento de la puerta del gabinete antes de comenzar a trabajar. No se permite que personas no profesionales abran la puerta del armario eléctrico. Durante el funcionamiento, el cañón de electrones no debe abrir la puerta del armario eléctrico. El gabinete eléctrico de toda la máquina de recubrimiento óptico debe estar bien conectado a tierra y conectado a la máquina.
La fuente de vapor del cañón de electrones está instalada en la placa inferior de la cámara de vacío y debe tener un buen efecto de conexión a tierra con la placa inferior. La instalación de la fuente de vapor debe fijarse con tornillos de acero inoxidable y no debe haber ningún material magnético dentro de los 200 mm a su alrededor, de lo contrario afectará el punto de luz del cañón de electrones y provocará un rendimiento electrónico deficiente. El deflector del cañón de electrones debe instalarse lo más lejos posible a 30 mm por encima del centro del crisol de la fuente de evaporación, para no afectar la emisión del haz de electrones.
La fuente de vapor del cañón de electrones es un cuerpo mecanizado con precisión y se requiere buena agua de refrigeración cuando se trabaja. Una temperatura excesiva afectará la formación del haz de electrones y el rendimiento de cada anillo de sellado.
(1) Cabeza de pistola electrónica
La instalación del cabezal de la pistola afecta directamente al funcionamiento normal de la pistola. El 90% de las averías están relacionadas con la punta del arma.
Después de usar la punta por un período de tiempo, debido a la contaminación de los componentes, afectará la formación y la potencia del haz de electrones, por lo que es necesario desmontarla y limpiarla.
(2) Mantenimiento del crisol
Antes de desmontar el crisol, cierre el circuito de agua y utilice aire comprimido para limpiar el agua en el tubo de enfriamiento de la pistola de electrones.
(3) Mantenimiento de la placa conductora magnética y el anillo de escaneo.
No es necesario desmontar ni mantener la placa guía y el imán permanente de la máquina de recubrimiento óptico con frecuencia. Si necesita desmontarlo, preste atención a la dirección de polaridad del imán permanente y a la dirección de la placa guía. Como el espacio de instalación de la bobina es denso, no haga palanca con objetos afilados, de lo contrario causará daños.

Fundada en 2007 con el nombre anterior Huahong Vacuum Technology, es profesional Proveedores de China Máquinas de recubrimiento de película óptica. and Proveedores de máquinas de recubrimiento de película óptica. , incluidos, entre otros, sistemas de pulverización catódica, unidades de recubrimiento óptico, metalizadores por lotes, sistemas de deposición física de vapor (PVD), equipos de deposición de recubrimiento al vacío resistentes al desgaste y duros, recubrimientos de sustrato de vidrio, PE y PC, máquinas rollo a rollo para recubrimiento flexible sustratos. Las máquinas se utilizan para una amplia gama de aplicaciones que se describen a continuación (pero no se limitan a): automoción, decorativas, revestimientos duros, revestimientos para herramientas y corte de metales, y aplicaciones de revestimiento de película fina para industrias y laboratorios, incluidas universidades. Danko Vacuum Technology Company Ltd está comprometida ampliar los límites de nuestro mercado proporcionando precios de máquinas de recubrimiento de película óptica de alta calidad, alto rendimiento y al por mayor. Nuestra empresa se centra en gran medida en el servicio posventa en los mercados nacionales e internacionales, proporcionando planes precisos de procesamiento de piezas y soluciones profesionales para satisfacer las necesidades de los clientes.