Terminología común de vacío6

1.adsorción: Adsorción de gases o vapores (adsorbatos) sobre superficies sólidas o líquidas (adsorbentes).
2.fisorción: Adsorción debida a la acción física. Fábrica de máquinas de recubrimiento al vacío por evaporación
3.quimisorción: Adsorción debida a la acción química.
4.absorción: La difusión de gas o vapor (adsorbato) en sólido o líquido (adsorbente).
5.factor de acomodación α: La relación entre la energía promedio intercambiada entre una partícula que incide en una superficie y la energía real intercambiada en la superficie con respecto a la energía promedio intercambiada cuando la partícula alcanza una condición de equilibrio térmico completo en la superficie.
6.υ tasa de impacto: en un intervalo de tiempo dado, el número de moléculas que inciden en la superficie se divide por el tiempo y el área de la superficie.
7.migración: El movimiento de moléculas en la superficie.
8.desorción: Liberación de gases o vapores adsorbidos por los materiales. La liberación puede ser natural o acelerada por medios físicos.