Análisis de defectos comunes en el recubrimiento(1)
gris sucio
Fenómeno: hay algunos puntos (no puntos de material de película) en la superficie o dentro de la capa de película de la lente, algunos se pueden borrar y otros no. Y habrá una descamación puntiaguda.
causa:
1. La cámara de vacío está sucia. El vórtice de aire al comienzo de la aspiración lleva la ceniza sucia de la placa inferior y la placa protectora de la cámara de vacío a la lente, formando una capa de manchas grises. (En la película no se puede limpiar, se despegará un poco)
2. El anillo o disco del espejo está sucio, con polvo flotante, que se adhiere a la lente bajo la acción del haz de iones para formar una capa de puntos grises. (En la película no se puede limpiar, se despegará un poco)
3. Hay manchas de polvo cuando se coloca la lente en el paraguas y no hay inspección ni selección cuando se coloca el paraguas. (En la película no se puede limpiar, se despegará un poco)
4. Contaminación ambiental después revestimiento es la principal causa de las manchas grises en el exterior de la película, especialmente cuando la lente está caliente, es más fácil de absorber el polvo y difícil de borrar. (fuera de la membrana)
5. El entorno de la entrada de aire de la cámara de vacío está sucio, el volumen de aire inicial es demasiado grande, el filtro de aire está sucio y la temperatura de la lente es demasiado alta durante el inflado, lo que también es la razón de las malas manchas de polvo en el exterior. la película de la lente. (fuera de la membrana)
6. Contaminación por polvo causada por los operadores (membrana interior y exterior)
7. Demasiado polvo en el ambiente de trabajo
Ideas de mejora: eliminar las fuentes de polvo
Mejorar la estrategia:
1. El entorno de trabajo consiste en transformar el taller limpio e implementarlo en estricta conformidad con las especificaciones del taller limpio.
2. Hacer un buen trabajo de higiene ambiental en la medida de lo posible. Utilice bancos de trabajo limpios tanto como sea posible.
3. La cámara de vacío se limpia periódicamente para mantenerla limpia.