1. Cuerpo principal de vacío —— El tamaño de la cámara de vacío varía según los requisitos de los productos procesados. En la actualidad, los diámetros más utilizados son 1, 3M, 0, 9M, 1, 5M, 1, 8M, etc. La cavidad está compuesta de "Acero inoxidable" target = _blank> Material de acero inoxidable, los requisitos no son oxidados, sólidos , etc., cada parte de la cámara de vacío tiene una válvula de conexión para conectar cada bomba.
2. Sistema de extracción de aire auxiliar: El sistema de escape es una parte importante del sistema de vacío de la máquina de recubrimiento, que se compone principalmente de bombas mecánicas, bombas de refuerzo (principalmente introduce bombas Roots) y bombas de difusión de aceite. Este sistema de escape está compuesto por "bomba de difusión + bomba mecánica + bomba de raíces + trampa fría criogénica + policold". El proceso de escape es: la bomba mecánica primero bombea la cámara de vacío a un estado de vacío bajo de menos de 2, 0 * 10-2PA, lo que proporciona un requisito previo para el vacío posterior de la bomba de difusión, y luego cuando la bomba de difusión bombea el cámara de vacío, la bomba mecánica coopera Las bombas de difusión de aceite están conectadas en serie para completar la acción de bombeo de esta manera.
Bomba mecánica: también llamada bomba de respaldo. La bomba mecánica es la bomba de bajo vacío más utilizada. Utiliza aceite para mantener el efecto de sellado y se basa en métodos mecánicos para cambiar continuamente el volumen de la cavidad de succión en la bomba para bombear el recipiente. El volumen del gas en el interior se expande continuamente para obtener un vacío.
Clasificación de bombas mecánicas: Hay muchos tipos de bombas mecánicas. Los más utilizados son el tipo de válvula deslizante (esto se usa principalmente en equipos grandes), el tipo de pistón alternativo, el tipo de paleta fija y el tipo de paleta rotatoria (este es actualmente el más utilizado, este artículo presenta principalmente) cuatro tipos Tipo. La bomba mecánica comienza a funcionar desde la atmósfera. Sus principales parámetros son el vacío final y la velocidad de bombeo. Esta es una base importante para el diseño y la selección de la bomba mecánica. La bomba de una etapa puede bombear el contenedor desde la atmósfera hasta el vacío final de 1, 0 * 10-1PA, y la bomba mecánica de dos etapas puede bombear el contenedor desde la atmósfera a 6, 7 * 10-2Pa, o incluso más alto. La tasa de bombeo se refiere al volumen de gas que se puede descargar por unidad de tiempo cuando la bomba de paletas rotativas está funcionando a la velocidad nominal. Se puede calcular mediante la siguiente fórmula: Sth = 2nVs = 2nfs L fs representa el área de la sección transversal de la cavidad al final de la succión, y L representa la longitud de la cavidad vacía, el coeficiente indica que el rotor tiene dos escapes procesos por revolución, y Vs indica que cuando el rotor está en posición horizontal, la succión termina, el volumen en la cavidad es el mayor en este momento y la velocidad es n. El efecto de escape de la bomba mecánica también está relacionado con la velocidad del motor y la tensión de la correa. Cuando la correa del motor está relativamente suelta y la velocidad del motor es muy lenta, el efecto de escape de la bomba mecánica también empeorará, por lo que se requiere un mantenimiento frecuente. El efecto de sellado del aceite de la bomba mecánica también debe comprobarse con frecuencia. Si hay muy poco aceite, no se logrará el efecto de sellado. La bomba perderá aire, demasiado aceite bloqueará el orificio de succión y es imposible inhalar y exhalar. El nivel de aceite está a 0 o 5 cm por debajo de la línea. Las bombas mecánicas se utilizan a menudo para bombear aire seco, pero no pueden bombear gases con alto contenido de oxígeno, gases explosivos y corrosivos. Las bombas mecánicas se utilizan generalmente para bombear gases permanentes, pero no son buenas para la humedad. Efecto, por lo que no puede eliminar la humedad. Las partes principales de la bomba de paletas rotativas son el estator, rotor, metralla, etc. El rotor está dentro del estator pero tiene un eje diferente del estator, como dos círculos inscritos. Hay dos metralla en la ranura del rotor y se instala un resorte entre las dos metralla. Asegúrese de que la metralla esté firmemente adherida a la pared interior del estator.
